03.Pa（パスカル）の気圧の違いを感知できる

   デモでは、同センサを用いて実際の気圧の変化をグラフ化するもの。会場に設置したおもちゃの列車がレールの上を走りながら、上下に移動することで、それぞれの高さの気圧を検知し、気圧の変化の度合いをグラフでリアルタイムに見せている。
　列車を走らせるレールの高低差は、10cm程度で４段階ある。デモでは、およそ50cm程度の高さのわずかな気圧の違いを測定できる点をアピールしている。
　センサの分解能は、0.3Pa（パスカル）の違いを感知できる精度を持つという。水晶を素子に用いることで、これだけの高分解能を実現し、さらに高い安定性を実現している。計測可能な範囲は30kPa〜130kPaで、高さでいうとおよそ7000mの高度まで測定が可能という。

意外と多彩なアプリケーション

   これだけ高精度な圧力センサを一体何に使うのかと思うが、利用する範囲は意外に広い。想定されるアプリケーションは、セキュリティ（気圧の変化で扉の開け閉めを感知できる）、ナビゲーション・システム（高速道と一般道など、立体的な道路のどちらを走っているかを高さの違いで認識）、ゴルフ・スウィングの速度計測（風圧の変化でヘッドスピードを計測）などなどさまざまだ。この高精細な水晶素材をQMEMS（「QUARTZ」と、「MEMS」（微細加工技術）を組み合わせた造語）という。
　会場のブースでは、上記のデモのほか、ゴルフ・スウィングの速度計測のデモも実際に行っていた。

組み合わせでさらに可能性が広がるQMEMS

   エプソントヨコムの開発技術センター 商品企画戦略部 主任の川口雄一郎氏は、今回展示している高精度水晶圧力センサについて、次のように説明する。「QMEMSは、一般にゲーム機やモバイルPCなどで用いられているシリコンMEMSと比べてより精度が高い。圧力以外にも、さまざまな測定を高精度で実現することが可能です。」
　川口氏はさらに、「高精度なセンサの組み合わせ」によって、GPSを補完するような位置検出の装置も可能と言う。「ジャイロ、加速度、気圧の３つのセンサを組み合わせることで、慣性計測装置（IMU＝Inertial Measurement Unit)を構成し、GPSの補完や、あるいはGPSと組み合わせた空間位置計測を実現できます。」